人工纤毛的仿耳蜗半规管旋转加速度传感器

摘要

本发明公开了一种人工纤毛的仿耳蜗半规管旋转加速度传感器，包括一根以上中空的弯曲管道，该管道两端和一个密封的容器相连通，管道和容器内充满绝缘液，每根管道内部的壶腹嵴上设置一个以上凸起的纤维装置。本发明传感器分为三个以空间坐标系格局分布，来感知不同方向的旋转，当整个装置受到旋转作用时，三个方向的纤维装置就会发生不同的形变，由于电极位置的不同，电极上产生的电荷或电压是不同的。这样通过电荷放大器和处理单元分析三根纤维的极性和数值就可以判断多维旋转加速度的方向和大小。