法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-17
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/00 申请日:20160317
实质审查的生效
2016-08-03
公开
公开
机译: 在SITU中测量和补偿由于位移测量干涉仪系统中的干涉仪光学器件的缺陷而引起的误差
机译: 使用带Fizeau和Twyman-Green臂的干涉仪,通过干涉仪测量光学元件中的热诱导表面缺陷,将其信号叠加以形成测量信号
机译: 微光学干涉仪,例如光学延迟干涉仪,例如折射率测量,具有整体式成型体,其光学边界表面具有入射点,分束器,反射点和干涉点