一种可适应月面环境的薄膜溅射力传感器

摘要

一种可适应月面环境的薄膜溅射力传感器，包括连接端、接线端子座(12)、引线插针(14)和弹性体(16)；弹性体(16)为凸字形的阶梯圆柱台，包括粗圆柱台和细圆柱台；接线端子座(12)沿中轴设有端子座通孔，细圆柱台穿过端子座通孔，与连接端的一端连接，连接端用于向弹性体(16)施加轴向拉力，粗圆柱台与接线端子座(12)的一端固连；弹性体(16)的粗圆柱台端面上溅射有电阻应变栅图形薄膜，电阻应变栅图形薄膜包括4个电阻桥臂；弹性体(16)受到轴向拉力时，导致4个电阻桥臂阻值变化；4个电阻桥臂两端通过引线插针(14)与外界连接，用过测量差分电压的变化得到轴向力。本发明的传感器不易受非轴向力的干扰，适用于较大的工作温度区间。