公开/公告号CN105706002B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480058806.4
申请日2014-12-18
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:08:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-09
授权
授权
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20141218
实质审查的生效
2016-06-22
公开
公开
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