一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置

摘要

本发明公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具，下夹具为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔，凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底，上夹具为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔，孔可以穿过固定柱。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时工装装置具有结构简单，易于制造的优点。