AWG输出波导与波导探测器的集成器件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种AWG输出波导与探测器的集成器件及其制备方法。该集成器件包括：衬底；AWG输出波导，呈条状，位于衬底上的AWG区域，自下而上包括：AWG下包层、AWG芯层和AWG上包层，其中，AWG下包层和AWG芯层延伸至PD区域；以及波导探测器，形成于衬底上PD区域的AWG芯层的上方，与AWG输出波导相对设置，其自下而上包括：PD下接触层、PD吸收层和PD上接触层。本发明在AWG输出波导中传输的光自下而上由AWG芯层通过消逝场耦合的方式逐层耦合到波导探测器的PD吸收层，从而避免了分立器件互连时过多的耦合损耗，利用消逝场耦合提高了光链路中的能量效率。