形成光学图像的方法、本方法用的衍射部件、实行所述方法的设备

摘要

通过若干子照射在抗蚀剂层(5)上形成光学图像，在每个子照射中，光阀阵列(21-25)和对应的衍射单元阵列(91-95)用以按照子图像在抗蚀剂层上形成光点图案(111-115)。在各子照射之间，所述抗蚀剂层相对于所述阵列移动。利用具有至少两个振幅电平和至少三个相位等级的衍射单元获得了明亮的边缘清晰的光点。