紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统

摘要

本发明涉及紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统。紫外激光远心F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四片为双凸正透镜。与现有技术相比，本发明扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，使扫描场镜的出瞳位于无限远处，视场内的像方主光线的远心<3°，扫描场镜的像散得到良好的校正，小于0.05mm，而且镜片加工容易，造价低廉。