YAG激光打标机变焦f-theta镜扫描系统

摘要

为Nd:YAG激光打标机设计了变焦距f-theta镜扫描系统,以使它适用于不同的打标面积而不必更换镜头,系统由四片透镜组成,材料分别为BK7、SF18和SF11,系统总长度为122.96mm,工作波长1064nm.利用f-theta镜的负畸变效应和机械变焦原理,将四片镜设计组合成两个可变档系统,系统的有效焦距分别为f-theta镜的两个常用焦距:350mm和400mm,相应的扫描范围分别为220mm×220mm,250mm×250mm,扫描角都为±18°.系统像面在0视场、0.7视场和全视场的光斑都落在相应的爱里斑以内,系统的MTF曲线接近相应的衍射极限曲线,最大波像差小于四分之一波长;系统的最大场曲和最大f-theta相对畸变都很好地满足了国内激光打标机的精度要求.