公开/公告号CN106130480B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201610692861.X
申请日2016-08-19
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人罗泳文
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 10:08:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-13
授权
授权
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H02S50/10 申请日:20160819
实质审查的生效
2016-11-16
公开
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