公开/公告号CN1269183C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-08-09
原文格式PDF
申请/专利权人 拉姆研究公司;
申请/专利号CN02815473.8
发明设计人 海尔伦·I·哈尔希;大卫·E·杰可;
申请日2002-07-30
分类号H01L21/00(20060101);C23C14/56(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 08:58:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-08-09
授权
授权
2004-12-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-10-20
公开
公开
机译: 快速循环室具有顶部排气和氮气吹扫的方法
机译: 快速循环室的顶部排气口带有氮气吹扫装置
机译: 快速循环室的顶部排气口带有氮气吹扫装置