公开/公告号CN104465503B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-27
原文格式PDF
申请/专利权人 上海集成电路研发中心有限公司;上海华虹(集团)有限公司;
申请/专利号CN201410723614.2
发明设计人 徐文忠;
申请日2014-12-03
分类号
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴世华
地址 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
入库时间 2022-08-23 10:07:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-27
授权
授权
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20141203
实质审查的生效
2015-03-25
公开
公开
机译: 铜互连用铜籽晶层的形成方法
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