大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开了大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法，能够实现大口径非球面反射镜的高精度轮廓检测。装置包括如下组件：CCD组件中包括多个CCD，多个CCD均匀对称固定安装在被检测反射镜的边缘；激光出射机构出射多束激光光束分别一一对应投射至每个CCD中；CCD组件中的多个CCD将采集的数据传输给中心控制器。靶标球固定于平移机构上，在平移机构带动下，沿被测反射镜表面平移。激光跟踪仪对于靶标球所在位置进行数据采集，并将采集到的数据发送至中心控制器。中心控制器接收利用CCD采集的数据对激光跟踪仪采集的数据进行校正并计算面形误差。激光跟踪仪与镜体的距离取决于被检测反射镜的顶点曲率半径，曲率半径越大距离越大。