一种大口径非球面元件轮廓高精度检测方法及装置

摘要

本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种大口径非球面精密检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型非球面元件轮廓的高精度检测。本发明基于直线/回转基准技术等，采用回转—直线基准共基面的开放式轮廓仪结构，实现了基于精密气浮回转中心的大口径非球面元件轮廓的高精度检测。本发明采用回转—直线基准系统共基面设计以及测量架的折转设计以及开放式的非龙门结构设计，减小了仪器阿贝误差，最大限度的发挥了精密直线气浮导轨的运动精度，利用与精密直线气浮导轨同步运动的传感测量系统对被测非球面的一条母线轮廓参数直接进行测量；利用精密气浮回转技术，实现被测非球面多条母线轮廓的测量，通过拟合实现了大口径非球面轮廓的高精度快速检测。