制造液晶显示器的方法以及形成复晶硅层的方法

摘要

本发明提供一种用于液晶显示器中的复晶硅层的形成方法，包括以下步骤。首先，提供一绝缘基板，在绝缘基板上形成沉积一非晶硅层。接着，使非晶硅层结晶化，而形成一表面具有凸出部分的复晶硅层。接着，在复晶硅层上形成一改质层，以改质复晶硅层表面的凸出部分，改质层为氧化硅层或氮化硅层。最后，除去改质层，并同时除去复晶硅层表面的凸出部分，而得到表面较平坦的复晶硅层。