一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法

摘要

本发明涉及一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法，包括固定环、内齿轮、砂轮环、齿轮轴、同步旋转齿轮、行星齿轮、旋转轴和圆柱体永磁铁，旋转轴装设在砂轮环内，圆柱体永磁铁装设在旋转轴下端所设的通孔内，内齿轮装设在砂轮环的上部，固定环装设在内齿轮的顶部，固定环固定在机床上，砂轮接口装设在砂轮环及固定环的顶部，砂轮接口与砂轮环连接，砂轮接口上设有外齿轮，齿轮轴装设在砂轮接口上，行星齿轮装设在齿轮轴上，同步旋转齿轮装设在旋转轴上端，行星齿轮与砂轮接口所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮及行星齿轮与内齿轮啮合。本发明实现磨料更新自锐和砂轮块形状的实时恢复，适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效超光滑均匀磨削抛光加工。