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公开/公告号CN105196094B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 恩特格林斯公司;维瑞安半导体设备联合公司;
申请/专利号CN201510535576.2
发明设计人 理查德·A·库克;戴尔·K·史东;卢德米拉·史东;朱立安·布雷克;大卫·苏罗纳;
申请日2011-05-24
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人许静
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 10:06:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
授权
2016-01-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B23Q3/152 申请日:20110524
实质审查的生效
2015-12-30
公开
机译: 高表面电阻率静电吸盘
机译: 高表面电阻率的静电吸盘
机译:附录:基于毛状微结构的合格静电吸盘(2013 Smart Mater。Struct。22 015019)和由聚合物静电感应纤维组成的静电吸盘,用于处理粗糙表面的物体(2013 Smart Mater。Struct。22 095010)
机译:持续使用抗静电ABS树脂“ Toyorac Parel”开发超高抗静电材料表面电阻率值10〜7Ω,无需使用导电填料
机译:由聚合物静电感应纤维组成的静电吸盘,用于处理粗糙表面的物体
机译:接触面的光滑度和细毛长度对细毛结构硅双极型静电吸盘的静电力的影响
机译:静电吸盘过程中极端紫外光刻掩模的机械响应分析。
机译:通过使用高静电场直接沉积复合纳米结构层对髋臼杯进行表面处理
机译:利用减少模型和高吸盘沉积淤泥毛细管行为
机译:高推力密度静电发动机的发展现状。