公开/公告号CN105164031B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 杜尔系统股份公司;
申请/专利号CN201480023719.5
申请日2014-04-08
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人杨靖
地址 德国比蒂希海姆-比辛根
入库时间 2022-08-23 10:06:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-12
授权
授权
2017-02-08
著录事项变更 IPC(主分类):B65G35/06 变更前: 变更后: 申请日:20140408
著录事项变更
2016-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B65G35/06 申请日:20140408
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
机译: 在真空腔室设备中对工件进行表面处理-使用传输设备将带有面罩的工件转移到处理室中或从处理室中移出。
机译: 用于处理旋转对称工件的机床通过移动滑架并使转盘绕水平枢转轴枢转,将工件从工件进给位置传输到工件主轴
机译: 在半导体工件处理系统和半导体工件处理系统中转移半导体工件的方法以及将半导体工件转移到空的半导体工件处理系统的方法,多个处理室具有方法上无效的内部更换半导体工件的方法的腔体和卸载半导体工件的半导体工件处理系统