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光学滤波器器件、光学模块以及电子设备

摘要

本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中,光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部,底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔,光通过孔的外周边缘与保持部相对,可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。

著录项

  • 公开/公告号CN103969726B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN201410042197.5

  • 发明设计人 斋藤大辅;松野靖史;

    申请日2014-01-28

  • 分类号

  • 代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人余刚

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 10:06:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-09

    授权

    授权

  • 2016-03-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/28 申请日:20140128

    实质审查的生效

  • 2014-08-06

    公开

    公开

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