具有慢光载流子的阻挡层的高速光电二极管及其形成方法

摘要

本申请公开了具有慢光载流子的阻挡层的高速光电二极管及其形成方法。一种结构(以及形成结构的方法)包括光检测器、形成在所述光检测器下面的衬底、以及形成在所述衬底上的阻挡层。埋置的阻挡层优选包括单或双p-n结，或气泡层，用于阻止或消除漂移场较低的区域中的慢光生载流子。