利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法

摘要

本发明涉及一种利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其包括如下步骤：步骤1、根据所述测试数据生成与所述测试数据对应的恢复参考图；步骤2、根据所述已完成完整测试的MAP图对上述生成的恢复参考图进行调整，恢复参考图在调整后形成调整恢复图；步骤3、利用设置管芯测试属性后的调整恢复图生成恢复MAP图；步骤4、当恢复MAP图的管芯XY坐标与恢复参考图内的管芯XY坐标一致时，则确定根据测试数据恢复MAP图成功，否则，调整测试数据内的管芯XY坐标并重复上述步骤，直至能确定根据测试数据恢复MAP图成功。本发明避免了晶圆的重复测试，大大降低了重复测试可能带来的质量风险，能满足一些特殊行业的严苛的测试要求，安全可靠。