测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法

摘要

本发明公开了一种测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法，即本系统将氦离子化检测器和氢火焰检测器以及七阀七柱、三个样品定量环整合于一个分析系统，实现在一个分析系统上检测多种高纯气体，如高纯氨、高纯氧、高纯氮、高纯氢中的多种杂质组分，如氮气、氢气、氧气/氩气、一氧化碳、二氧化碳及甲烷、乙烷/乙烯、乙炔、C3烃类杂质；本方法通过调整阀的开关，使高纯气体中杂质经色谱柱分离后分别由氦离子化检测器和氢火焰检测器检测得到杂质的测定数据。本分析系统可检测多种高纯工业气体中的多种杂质成分，降低了测定成本；本方法满足高纯气体分析的灵敏度要求及各杂质气体检出限要求，大大提高了测定分析效率。