P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用

摘要

介绍了P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用。P5100系列氦离子色谱仪采用三阀三柱设计,通过阀切换和选择性切割技术可一次进样同时分析H2、O2/Ar、N2、CH4、CO、CO2等永久性气体。同时可实现对上述种类气体的高纯气体中微量永久性杂质的有效分析。CO2、H2、O2/Ar、N2、CH4、CO的最低检出限(×10^-6)分别为0.0291、0.0183、0.0192、0.0187、0.0195、0.0273,满足高纯气体中微量杂质的分析要求。