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磁性非对称型柱或核球的植球治具及植球方法

摘要

本发明涉及一种磁性非对称型柱或核球的植球治具及植球方法,其特征是:包括托盘和吸头,托盘的上部和吸头下部分别呈开口状,托盘的下部和吸头的上部分别设置抽真空口,在托盘内固定下模,在吸头内固定上模;在所述下模和托盘的下部之间形成第一真空腔,在上模和吸头的上部之间形成第二真空腔,第一真空腔和第二真空腔分别与抽真空口连通,抽真空口分别连接真空装置;在所述下模上表面设置第一BGA点阵孔,在上模下表面设置第二BGA点阵孔,第一BGA点阵孔与第一真空腔连通,第二BGA点阵孔与第二真空腔连通,第一BGA点阵孔与第二BGA点阵孔呈上下映射;所述托盘与振动装置连接,托盘和吸头一侧分别设置电磁装置。本发明实现了非对称型柱或核球的植球,锡球或锡柱在高度方向达到使用需求,有效减小植球间距。

著录项

  • 公开/公告号CN104485300B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-11-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201410757801.2

  • 发明设计人 陈南南;王宏杰;

    申请日2014-12-10

  • 分类号

  • 代理机构无锡市大为专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人殷红梅

  • 地址 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋

  • 入库时间 2022-08-23 10:04:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-24

    授权

    授权

  • 2015-04-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20141210

    实质审查的生效

  • 2015-04-01

    公开

    公开

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