公开/公告号CN104928649B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201510189745.1
申请日2015-04-20
分类号C23C16/44(20060101);C23C16/26(20060101);C23C16/02(20060101);C30B25/02(20060101);C30B29/02(20060101);
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 10:04:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-05
授权
授权
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/44 申请日:20150420
实质审查的生效
2015-09-23
公开
公开
机译: 通过局部供碳制备晶圆级石墨烯单晶的局部供碳装置及方法
机译: 局部供碳装置及制备晶片级石墨烯单晶的局部供碳装置及方法
机译: 局部供碳装置及通过局部供碳生产晶片级石墨烯单晶的方法