利用替代栅极技术形成鳍式场效晶体管的方法和器件

摘要

本发明涉及利用替代栅极技术形成鳍式场效晶体管的方法和器件，揭露一种方法包括，除此之外，形成一凸起的隔离柱结构在第一和第二鳍片之间，其中该凸起的隔离柱结构部分分别地定义出第一和第二空间在第一和第二鳍片之间，并形成一栅极结构在该第一和第二鳍片和该凸起的隔离柱结构的周围，其中该栅极结构的至少一部份位于该第一和第二空间中。一示例性器件包括，除此之外，第一和第二鳍片，一凸起的隔离柱结构位于该第一和第二鳍片之间，第一和第二空间由该鳍片和该凸起的隔离柱结构所定义出，且一栅极结构位于该鳍片和该隔离柱结构的部分的周围。