带周期分布集中质量块的嵌套环式MEMS振动陀螺

摘要

本发明提供一种带周期分布集中质量块的嵌套环式MEMS振动陀螺，包括带周期分布集中质量块的嵌套环式谐振子以及设置在谐振子内部或/和外部的电极，谐振子包括嵌套环式柔性框架、设置在嵌套环式柔性框架上的质量块以及固定谐振子的锚点，整个谐振子通过位于谐振子中心的锚点与基底牢固锚接。所述嵌套环式柔性框架由嵌套环和轮辐状支撑梁构成，能够采用多种方式在嵌套环式柔性框架上添加质量块，电极可以设置在谐振子的内部或外部，也可以在谐振子内外同时设置电极。本发明具有较高的热弹性Q值；较大的谐振质量；较大的驱动幅值；如果采用内置电极设计或者内外置电极并存设计，那么还具有检测电容面积大、测控电极数目多等诸多优点。