法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-14
授权
授权
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 49/792 申请日:20130319
实质审查的生效
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 49/792 申请日:20130319
实质审查的生效
2015-07-08
公开
公开
2015-07-08
公开
公开
机译: 单体,包含所述单体的硬掩模组合物以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法
机译: 单体,包含所述单体的硬掩模组合物,以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法
机译: 单体,包含所述单体的硬掩模组合物,以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法