其中,在以上的化学式1中,A是取代或未取代的多环芳香基,A'是取代或未取代的C6‑C20亚芳基,X是环氧基,Y是氢、羟基、C1至C10的烷基氨基、氨基、=O或它们的组合,l是0至6的整数,及m和n是各自独立地为1至4的整数。本发明提供的用于硬遮罩组成物的单体,由于优异的交联而减少释气。"/> 用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述组成物形成图案的方法(CN201380073499.2)-中国专利【掌桥科研】
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用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述组成物形成图案的方法

摘要

本发明揭示一种用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述组成物形成图案的方法。本发明的用于硬遮罩组成物的单体,是以下列化学式1表示:[化学式1]其中,在以上的化学式1中,A是取代或未取代的多环芳香基,A'是取代或未取代的C6‑C20亚芳基,X是环氧基,Y是氢、羟基、C1至C10的烷基氨基、氨基、=O或它们的组合,l是0至6的整数,及m和n是各自独立地为1至4的整数。本发明提供的用于硬遮罩组成物的单体,由于优异的交联而减少释气。

著录项

  • 公开/公告号CN105026389B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 第一毛织株式会社;

    申请/专利号CN201380073499.2

  • 申请日2013-05-08

  • 分类号C07D407/10(20060101);G03F7/004(20060101);C08G59/22(20060101);

  • 代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人马爽;臧建明

  • 地址 韩国庆尚北道龟尾市龟尾大路58番地

  • 入库时间 2022-08-23 10:06:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-16

    授权

    授权

  • 2015-12-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):C07D407/10 申请日:20130508

    实质审查的生效

  • 2015-11-04

    公开

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