其中,在以上的化学式1中,A是取代或未取代的多环芳香基,A'是取代或未取代的C6‑C20亚芳基,X是环氧基,Y是氢、羟基、C1至C10的烷基氨基、氨基、=O或它们的组合,l是0至6的整数,及m和n是各自独立地为1至4的整数。本发明提供的用于硬遮罩组成物的单体,由于优异的交联而减少释气。"/>
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-16
授权
授权
2015-12-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C07D407/10 申请日:20130508
实质审查的生效
2015-11-04
公开
公开
机译: 用于硬掩模组合物的单体,包括所述单体的硬掩模组合物以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法
机译: 单体,包含所述单体的硬掩模组合物以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法
机译: 单体,包含所述单体的硬掩模组合物,以及使用所述硬掩模组合物形成图案的方法