法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/183 授权公告日:20061011 申请日:20030620
专利权的终止
2006-10-11
授权
授权
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-02-18
公开
公开
机译: 垂直腔表面发射激光器和多波长表面发射激光器的制造方法,垂直腔表面发射激光器,多波长表面发射激光器和光通信系统
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