路径匹配路径型干涉仪装置

摘要

本发明是关于一种路径匹配路径型干涉仪装置，其藉由在路径匹配路径部设置发光强度调整光学系统，可依据被检测面的反射率的不同，简便地从光学上对干涉条纹的对比度进行调整。发光强度调整光学系统藉由将以旋转轴为中心大致在同心圆上配置的，光透过率彼此不同的3个ND滤光器中的1个，有选择地进行转换并使其位于路径匹配路径部的第1路径上，可对分别通过第1路径及第2路径的两个光束的各发光强度的比率进行调整。补偿光学系统藉由在第2路径上插入折射率及厚度被设定得与ND滤光器大致相同的补偿板，可对在ND滤光器被插入时和被拔出时进行变化的两个路径的光路长度差进行补偿。