公开/公告号CN102931050B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110228262.X
申请日2011-08-10
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人刘杰
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:02:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20171031 终止日期:20190810 申请日:20110810
专利权的终止
2017-10-31
授权
授权
2017-10-31
授权
授权
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20110810
实质审查的生效
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20110810
实质审查的生效
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20110810
实质审查的生效
2013-02-13
公开
公开
2013-02-13
公开
公开
2013-02-13
公开
公开
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