法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-31
授权
授权
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0352 申请日:20160616
实质审查的生效
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0352 申请日:20160616
实质审查的生效
2016-10-12
公开
公开
2016-10-12
公开
公开
机译: 三维非晶硅/微晶硅太阳能电池
机译: 微晶硅,微晶硅制造方法以及由所述微晶硅提供的太阳能电池
机译: 非晶硅膜的制造工艺,非晶硅氮化膜的制造方法,微晶硅膜的制造方法以及非单晶半导体装置