首页> 中国专利> 一种可转移的Fe2O3/Au纳米孔阵列薄膜及其制备方法

一种可转移的Fe2O3/Au纳米孔阵列薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于纳米材料技术领域,具体涉及一种可转移的Fe2O3/Au纳米孔阵列薄膜及其制备方法。本发明提供的薄膜由Au纳米孔阵列薄膜和覆于其上的Fe2O3纳米孔阵列薄膜组成,两层薄膜中的纳米孔上下贯通,按规则的六角密排顺序排列。该薄膜的制备方法如下:选取多孔氧化铝模板,在模板的一个表面溅射Au膜,然后利用电沉积方法在Au纳米孔阵列薄膜表面生长一层Fe纳米孔阵列薄膜,接下来在空气中低温热处理使Fe转化为Fe2O3,最后利用除膜溶液去除氧化铝模板后制得目标产物。本发明方法简单、操作方便、成本低,所得薄膜孔径可控、排列有序、膜可转移,可应用于电化学传感器和生物传感器,能够得到灵敏稳定可信的响应信号。

著录项

  • 公开/公告号CN105112913B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-10-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西南大学;

    申请/专利号CN201510623764.0

  • 申请日2015-09-28

  • 分类号C23C28/00(20060101);C23C14/34(20060101);C23C14/18(20060101);C25D3/20(20060101);C25D5/50(20060101);B82Y40/00(20110101);

  • 代理机构50123 重庆华科专利事务所;

  • 代理人康海燕;吴兴伟

  • 地址 400715 重庆市北碚区天生路2号

  • 入库时间 2022-08-23 10:02:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-17

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 28/00 授权公告日:20171010 终止日期:20180928 申请日:20150928

    专利权的终止

  • 2017-10-10

    授权

    授权

  • 2017-10-10

    授权

    授权

  • 2015-12-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C28/00 申请日:20150928

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20150928

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20150928

    实质审查的生效

  • 2015-12-02

    公开

    公开

  • 2015-12-02

    公开

    公开

  • 2015-12-02

    公开

    公开

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