法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-03
授权
授权
2015-12-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20150520
实质审查的生效
2015-12-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20150520
实质审查的生效
2015-11-11
公开
公开
2015-11-11
公开
公开
机译: 一种使用唯一定位的对准标记实现电子束光刻的方法以及具有这种对准标记的晶片
机译: 一种使用唯一定位的对准标记实现电子束光刻的方法以及具有这种对准标记的晶片
机译: 用于基板的光学对准的标记结构,包括这种标记结构的基板,用于对准这种标记结构的对准方法以及光刻投影设备