为离子植入建立中电流带状离子束的方法及其离子束系统

摘要

本发明提供一种为离子植入建立中电流带状离子束的方法，其系提供一包含有工作气体及运载气体的离子源，并藉由调整工作气体及运载气体的比例，以控制离子源中一工作离子束的强度，之后并利用质量分析仪将运载气体自工作离子束分离。亦可藉由于离子源下游设置一或多个机械式电流限制装置来控制工作离子束的强度。此方法可控制到达晶圆的带状离子束总强度约在3μA到3mA之间。