一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。