多晶硅碎块及破碎多晶硅棒的方法

摘要

在表面上具有碳化钨颗粒的多晶硅碎块，其中碳化钨颗粒根据重量加权平均的粒径为小于或等于0.5μm、优选为小于或等于0.2μm或者平均粒径为大于或等于0.8μm、优选为大于或等于1.3μm。利用至少一个具有包含碳化钨的表面的破碎工具将多晶硅棒破碎成为碎块的方法，其中工具表面的碳化钨含量为小于或等于95％，碳化钨颗粒根据重量加权平均的粒径为大于或等于0.8μm，或者工具表面的碳化钨含量为大于或等于80％并且碳化钨颗粒的平均粒径为小于或等于0.5μm。