一种调控非晶硅薄膜光学带隙的方法

摘要

本发明公开了一种调控非晶硅薄膜光学带隙的方法，通过在非晶硅薄膜里加入钌元素实现对非晶硅薄膜光学带隙的调控。本发明通过在非晶网络中引入贵金属钌，在较低钌含量的情况下即可大幅度调控非晶硅薄膜的光学带隙。本发明可用于硅基薄膜叠层太阳能电池和红外探测器件等领域。