法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-01
授权
授权
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20130726
实质审查的生效
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20130726
实质审查的生效
2015-06-10
公开
公开
2015-06-10
公开
公开
机译: 化学相容性涂层材料,用于高级设备晶圆上颗粒性能
机译: 化学相容性涂层材料,用于高级设备晶圆上颗粒性能
机译: 化学相容性涂层材料,用于高级设备晶圆上颗粒性能