法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-18
授权
授权
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20150626
实质审查的生效
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20150626
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
2015-12-16
公开
公开
机译: 椭偏仪和椭偏仪,形式测量方法以及半导体装置的制造
机译: 椭偏和椭偏仪,形状测量方法和半导体装置的制造
机译: 椭偏测量方法,椭偏仪以及使用这种方法和设备控制层的实施的设备