带悬臂与屏蔽的静电力显微镜以及确定静电力、膜厚度的方法

摘要

一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜，包括：检测器(10)，其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14)，且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力；光学系统(20)，用于将头头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号，且含有尖头上感应的静电力的频率分量；向检测器加偏压的源(92)；检测器电路(30)，用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量，中测量被测样品上的静电力；以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。