数字图案发生器(DPG)中的反射镜阵列

摘要

讨论了在电子束光刻系统中具有反射镜阵列的数字图案发生器(DPG)的系统和方法。反射镜阵列包括第一反射镜库和第二反射镜库，其中组合逻辑结构插入到第一反射镜库和第二反射镜库之间。输出数据线从第一反射库镜延伸到组合逻辑结构。承载与第二反射镜库相关联的数据的输入数据线也被提供给组合逻辑结构。输出数据线从组合逻辑结构延伸到第二数据库。