一种改善光学零件边缘面形的加工方法及复合磨粒抛光液

摘要

本发明属于超精密加工技术，涉及一种改善光学零件边缘面形的加工方法及复合磨粒抛光液。所述复合磨粒抛光液由粒径范围为1μm～30μm，弹性模量在1～10GPa的有机聚合物微粒、粒径范围为0.3μm～3μm的抛光粉和水配制而成，其中，分散有机聚合物微粒的质量分数范围为0.1％～5％，抛光粉的质量分数范围为0.1％～5％。本发明采用由聚苯乙烯(PS)微球表面吸附CeO