法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/324 授权公告日:20170714 终止日期:20190530 申请日:20130530
专利权的终止
2017-07-14
授权
授权
2017-07-14
授权
授权
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/324 申请日:20130530
实质审查的生效
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20130530
实质审查的生效
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20130530
实质审查的生效
2015-01-21
公开
公开
2015-01-21
公开
公开
2015-01-21
公开
公开
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机译: 脉冲激光退火中基于红外干涉测量技术的熔体深度测定
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