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用光的干涉原理测定脉冲激光溅射产物的角分布

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摘要

本实验将基础光学知识应用于激光溅射沉积(简称PLD)中对溅射产物的空间分布进行测量的研究,将此做为现代物理实验可以培养学生运用基础物理实验方法进行科学研究的素养.

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来源
《渭南师范学院学报》 |2002年第5期|3-5|共3页
作者
皇甫国庆;
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作者单位

渭南师范学院,物理系,陕西,渭南,714000;

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正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
脉冲激光溅射; 角分布; 等厚干涉;

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