一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置

摘要

本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束，透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统，反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光，并经过第二分光镜进入准直扩束系统，两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上，衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波，测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合，经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹，通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调，测量精度高。