基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法

摘要

本发明提供一种基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法，在作业位置对由一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状基板进行支撑固定时，可良好地矫正基板的外周部的翘曲。具备使背撑部件（41）和基板按压部件（431、432）中的至少一方升降的升降驱动部，升降驱动部使背撑部件（41）上升及/或使基板按压部件（431、432）与一对输送机（225、226）一起下降，从而由背撑部件（41）从下方支撑基板（FB）并使基板（FB）从一对输送机（225、226）向上方离开，并且由基板按压部件（431、432）向下方按压基板（FB）的外周部表面。