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IC载板、具有该IC载板的半导体器件及制作方法

摘要

本发明涉及一种IC载板,其包括中介板、防焊层及中介板载板。中介板载板包括依次接触的第五导电线路层、第四介电层、第四导电线路层、第一介电层及第一导电线路层。各导电线路通过对应介电层中的导电孔与相邻导电线路层电性连接。第四介电层导电孔成孔方向与第一介电层导电孔成孔方向相反。中介板内嵌于第一介电层,其相对两侧具有电性连接的第一电性接触垫及第二电性接触垫。第二电性接触垫靠近第一导电线路层。自第五导电线路层向第一介电层形成有一凹槽。凹槽贯穿第五导电线路层及第四介电层,露出中介板。多个第一电性接触垫从凹槽露出。本发明还涉及具有该IC载板的半导体器件及其制作方法。

著录项

  • 公开/公告号CN104377187B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-06-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201310357713.9

  • 发明设计人 苏威硕;

    申请日2013-08-16

  • 分类号H01L23/498(20060101);H01L21/48(20060101);

  • 代理机构44311 深圳市鼎言知识产权代理有限公司;

  • 代理人哈达

  • 地址 066004 河北省秦皇岛市经济技术开发区腾飞路18号

  • 入库时间 2022-08-23 09:57:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-23

    授权

    授权

  • 2017-01-11

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 23/498 登记生效日:20161220 变更前: 变更后: 申请日:20130816

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-03-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/498 申请日:20130816

    实质审查的生效

  • 2015-02-25

    公开

    公开

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