公开/公告号CN104238092B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN201410543114.0
申请日2014-10-14
分类号G02B13/22(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人成金玉;李新华
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:57:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-13
授权
授权
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 13/22 申请日:20141014
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 用于检测光刻机中的投影物镜系统的波前像差的装置和方法
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